Успешное прохождение этого курса позволит грамотно подходить к пониманию основных технологических процессов микроэлектроники и наноэлектроники на базе основных законов квантовой механики, фрактальной геометрии и физики, нелинейной динамики, теории самоорганизации и синергетики. В нем рассматриваются базовые технологические процессы микроэлектроники: нанесение тонких пленок, микро- и нанолитография; модификация свойств материалов.
